ИУС-7Р - метрологически аттестованный программно-аппаратный комплекс (ПАК) предназначен для измерения четырехзондовым методом удельного и поверхностного сопротивления на пластинах диаметром до 300 мм.
Особенности:
- Измерения четырехзондовым методом (методом Кельвина) удельного и поверхностного сопротивления полупроводниковых или металлических образцов диаметром до 300 мм.
- Зондовая станция Семизонд (Semizond) 4К
- Микроомметр Е6-42 (внесен в Госреестр СИ РФ)
- ПО «Кристалл» для автоматического расчета удельного и поверхностного сопротивления с учетом размеров образца согласно стандарту ASTM F84-99.
- Диапазон измерений от 4 мОм/□ до 900 МОм/□ для поверхностного сопротивления
- Пределы допускаемой относительной погрешности измерений УПЭС, % ±1
- Пределы допускаемого отклонения расстояний между линейно расположенными зондами четырехзондовой головки от номинальных значений (1,59 мм), мм:
- для головки ТС ±0,01
- для головки BeCu ±0,05
Программное обеспечение «Кристалл»:
- управление источником-измерителем по RS-232, LXI (LAN), USB;
- задание параметров пластины;
- задание режима измерений (карта сопротивлений или непрерывный режим);
- расчет удельного и поверхностного сопротивления согласно стандарту ASTM F84-99;
- составление отчета в автоматическом режиме.
№
|
Характеристики
|
Значение
|
1
|
Диапазон задаваемого тока
|
10 нА – 1 А
|
2
|
Габаритные размеры (ВхШхД), мм, не более:
- измеритель поверхностного сопротивления Семизонд 4К
- микроомметр Е6-42
|
230×470×285
320х281х134
|
3
|
Масса, кг, не более:
- измеритель поверхностного сопротивления Семизонд 4К
- микроомметр Е6-42
|
15
6
|