Контактирующая головка предназначена для измерения поверхностного сопротивления различных материалов и тонких пленок с температурой образца в процессе измерения (100 – 300) °С. Конструктивные особенности позволяют производить измерения непосредственно в процессе роста покрытий на диэлектрических и полупроводниковых подложках, без необходимости охлаждать образец до комнатной температуры и развакуумировать технологическое оборудование.
Технические характеристики
Наименование характеристики
|
Значение
|
Диапазон измеряемого поверхностного сопротивления пленки, кОм/ð,
|
100 - 300
|
Толщина покрытия исследуемого материала, нм
|
60-250
|
Давление, Па
|
9·10-6
|
Газовыделение, л-мм рт.ст./см2
|
1,2
|
Дополнительные характеристики:
-
конструкционный материал: керамика – вакуумплотный корундовый материал марки ВК9401, корпус – бериллиевая бронза марки БрБ2, медь – марки МБ;
-
материал зондовых игл – вольфрам;
-
радиус закругления острия игл 150 мкм, расстояние между центрами игл 1,59 мм ± 25 мкм.