Параметрический анализатор 4200A-SCS — это модульный, конфигурируемый в соответствии с задачами заказчика параметрический анализатор, обеспечивающий измерение вольтамперных, фольтфарадных характеристик и ВАХ в импульсном режиме. Анализатор 4200A-SCS ускоряет проведение испытаний сложных устройств для исследования материалов, разработки полупроводниковых устройств, подготовки технологических процессов или производства.
Характеристики
Модуль источника-измерителя (SMU):
- диапазон напряжения/тока: ±210 В/100 мА или ±210 В/1 А;
- разрешение 100 фА, 0,1 фА с предусилителем;
- низкочастотные измерения емкости 10 мГц — 10 Гц;
- двух- или четырехпроводные измерения.
Модуль измерения ВФХ (CVU):
- несколько режимов измерения импеданса: C-V, C-f, C-t;
- частотный диапазон от 1 кГц до 10 МГц;
- диапазон изменения напряжения смещения ±30 В (возможность расширения до ±210 В с помощью SMU-модуля);
- возможность быстрого переключения между I-V и C-V измерениями с помощью CVIV модуля.
Модуль сверхбыстрого измерения ВАХ в импульсном режиме (PMU):
- два независимых или синхронизированных канала источника/измерителя;
- частота дискретизации 200 Мвыб/с (5 нс);
- ±40 В (80 В пик), ±800 мА;
- возможность проведения измерений переходных ВАХ;
- режим генерации произвольных многоуровневых импульсов (Segment ARB®) с 10 нс разрешением.
Модуль генератора высоковольтных импульсов (PGU):
- два высокоскоростных канала импульсного напряжения
- ±40 В (80 В пик), ±800 мА;
- режим генерации произвольных многоуровневых импульсов (Segment ARB®) с 10 нс разрешением.
Коммутационный блок ВАХ/ВФХ (CVIV):
- быстрое переключение между I-V и C-V измерениями без необходимости переподключения кабелей и нового контактирования с исследуемым устройством.
Модуль внешнего предусилителя (RPM):
- быстрое переключение между I-V, C-V и импульсными I-V измерениями;
- расширение чувствительности PMU-модуля до десятков пА;
- уменьшение паразитной емкости кабелей.
Комплектация
- Параметрический анализатор 4200A-SCS.
- CD с программным обеспечением Clarius.
- Руководство пользователя.