Ручная зондовая станция с возможностью проведения DC-, СВЧ-, термоизмерений (-65 до +300˚C) и разбраковки кристаллов. Максимальный диаметр пластин 150 мм, количество микропозиционеров до 6 шт.
Технические характеристики
Диаметр столика: 2, 4 или 6 дюймов
Подключение столика: по схеме Кельвина
Разрешение перемещение столика: 10 мкм с возможностью быстрого перемещения