Для измерения поверхностного сопротивления с температурой образца 100–300°С
Контактирующая головка предназначена для измерения поверхностного сопротивления различных материалов и тонких пленок с температурой образца в процессе измерения (100 – 300) °С. Конструктивные особенности позволяют производить измерения непосредственно в процессе роста покрытий на диэлектрических и полупроводниковых подложках, без необходимости охлаждать образец до комнатной температуры и развакуумировать технологическое оборудование.
Наименование характеристики
Значение
Диапазон измеряемого поверхностного сопротивления пленки, кОм/ð,
100 - 300
Толщина покрытия исследуемого материала, нм
60-250
Давление, Па
9·10-6
Газовыделение, л-мм рт.ст./см2
1,2
Дополнительные характеристики:
конструкционный материал: керамика – вакуумплотный корундовый материал марки ВК9401, корпус – бериллиевая бронза марки БрБ2, медь – марки МБ;
материал зондовых игл – вольфрам;
радиус закругления острия игл 150 мкм, расстояние между центрами игл 1,59 мм ± 25 мкм.