Система для измерения удельного и поверхностного сопротивления ИУС-7Р

Измерения четырехзондовым методом удельного и поверхностного сопротивления

ИУС-7Р - метрологически аттестованный программно-аппаратный комплекс (ПАК) предназначен для измерения четырехзондовым методом удельного и поверхностного сопротивления на пластинах диаметром до 300 мм.

Особенности:

• Измерения четырехзондовым методом (методом Кельвина) удельного и поверхностного сопротивления полупроводниковых или металлических образцов диаметром до 300 мм.

• Зондовая станция Семизонд (Semizond) 4К

• Микроомметр Е6-42 (внесен в Госреестр СИ РФ)

• ПО «Кристалл» для автоматического расчета удельного и поверхностного сопротивления с учетом размеров образца согласно стандарту ASTM F84-99.

• Диапазон измерений от 4 мОм/□ до 900 МОм/□ для поверхностного сопротивления

• Пределы допускаемой относительной погрешности измерений УПЭС, % ±1

• Пределы допускаемого отклонения расстояний между линейно расположенными зондами четырехзондовой головки от номинальных значений (1,59 мм), мм:

- для головки ТС ±0,01

- для головки BeCu ±0,05

Программное обеспечение «Кристалл»:

• управление источником-измерителем по RS-232, LXI (LAN), USB;

• задание параметров пластины;

• задание режима измерений (карта сопротивлений или непрерывный режим);

• расчет удельного и поверхностного сопротивления согласно стандарту ASTM F84-99;

• составление отчета в автоматическом режиме.