Многофункциональная модульная ручная зондовая станция EB-A

Многофункциональная модульная ручная зондовая станция с возможностью проведения DC-, СВЧ-измерений и разбраковки кристаллов, оптимизированная для точной интеграции с преобразователями частоты Anritsu. Оснащена интегрированным радиатором для охлаждения зондов и преобразователей частоты. Совместима с 4,5-дюймовым держателем проб-карт.

Технические характеристики:

• диаметр столика: 4, 6, 8 или 12 дюймов;
• планарность столика: 3 мкм;
• разрешение перемещения столика: 1 мкм;
• угловое вращение столика: 30˚;
• разрешение углового вращения столика: 0,01˚;
• вертикальное перемещение столика: 4 мм;
• разрешение вертикального перемещения столика: 1 мкм;
• горизонтальное перемещение микроскопа: 2×2 дюйма;
• максимальное количество микропозиционеров: 12 для DC-измерений или 4 для ВЧ- и 4 для DC-измерений;


• диапазон увеличений микроскопа: 20х-400х;
• угол поворота микроскопа: 35˚.