Многофункциональная модульная ручная зондовая станция с возможностью проведения DC-, СВЧ-измерений и разбраковки кристаллов, оптимизированная для точной интеграции с преобразователями частоты Anritsu. Оснащена интегрированным радиатором для охлаждения зондов и преобразователей частоты. Совместима с 4,5-дюймовым держателем проб-карт.
Технические характеристики:
диаметр столика: 4, 6, 8 или 12 дюймов;
планарность столика: 3 мкм;
разрешение перемещения столика: 1 мкм;
угловое вращение столика: 30˚;
разрешение углового вращения столика: 0,01˚;
вертикальное перемещение столика: 4 мм;
разрешение вертикального перемещения столика: 1 мкм;
горизонтальное перемещение микроскопа: 2×2 дюйма;
максимальное количество микропозиционеров: 12 для DC-измерений или 4 для ВЧ- и 4 для DC-измерений;