Габариты
700×800×1700 мм
Вес
600 кг
Диаметр столика
205 мм
Перемещение X-Y:
Перемещение Z:
Угловое перемещение:
Поле зрения
4,2 мм
Увеличение
1,3Х
Разрешение
30 мкм
Камера (пиксели)
870К
Рабочее расстояние
125 мм
5 кг
Освещение
галогенная лампа 150 Вт (управление с ПК)
Максимальное напряжение
1/3/5/10 кВ
Максимальный ток
1/10/100/200 А
Ток утечки
менее 100 пА (1,0 нА при 10 В)
Емкость
менее 10 пФ
Температурный диапазон
— 40 оС ÷ 300 оС
Точность
менее ± 0,5 оС
Стабильность
менее ± 0,3 оС
Размер
120×65×110 мм
Направление (X, Y, Z)
± (5×5 x 5) мм
± 2 мкм
Основания манипуляторов
винт/магнитный/вакуумный