Измерения четырехзондовым методом (методом Кельвина) удельного и поверхностного сопротивления полупроводниковых или металлических образцов диаметром до 300 мм.
Универсальный источник-измеритель (внесен в Госреестр СИ РФ).
ПО «Кристалл» для автоматического расчета удельного и поверхностного сопротивления с учетом размеров образца согласно стандарту ASTM F84-99, разработанное ООО «Остек-Электро».
Диапазон измерений от 1 мкОм/□ до 100 МОм/□ для поверхностного сопротивления, от 1 мкОм•см до 1 МОм•см для удельного сопротивления.
Точность измерения — не хуже 0,3 %.
Аксессуары:
термостолик до +300 оС;
столик с вакуумным прижимом (для измерения образцов 60×48);
экранирующая камера.
Программное обеспечение «Кристалл»:
управление источником-измерителем по RS-232, LXI (LAN), USB;
задание параметров пластины;
задание режима измерений (карта сопротивлений или непрерывный режим);
расчет удельного и поверхностного сопротивления согласно стандарту ASTM F84-99;
составление отчета в автоматическом режиме.
№
Характеристики
Значение
1
Диаметр столика, мм
150, 200, 300
2
Диапазон вертикального перемещения измерительной головы, мм
10
3
Шаг регулировки усилия прижатия, мкм
1
4
Материал зондов измерительной головы
Вольфрам (W)/ Бериллиевая бронза (BeCu)
5
Расстояние между зондами измерительной головы, мил