Стандартный коаксиальный столик для пластин
|
Диаметр
|
4″ (керамика) / 6″ / 8″ / 12″
|
Материал
|
Сталь с низким КТР / керамика
|
Поверхность столика
|
Никель или золото
|
Диаметр вакуумных отверстий
|
1″ / 8″ / 12″
|
Плоскостность поверхности
|
± 20,0 мкм
|
Триаксиальный столик для пластин с низким током утечки
|
Диаметр
|
4″ (керамика) / 6″ / 8″ / 12″
|
Материал
|
Сталь с низким КТР / керамика
|
Поверхность столика
|
Никель или золото
|
Диаметр вакуумных отверстий
|
1″ / 8″ / 12″
|
Плоскостность поверхности
|
± 20,0 мкм
|
Дополнительная опция (-UL)
|
Сверхнизкие токи утечки
|
Ток утечки
|
Стандарт: 1 пА при 100 В (10 фА/В)
-UL опция: 0,1 пА при 100 В (1 фА/В)
|
Высокомощный триаксиальный столик
|
Диаметр
|
6″ / 8″ / 12″
|
Материал
|
Сталь с низким КТР / керамика
|
Поверхность столика
|
Слой золота 5 мкм
|
Диаметр вакуумных отверстий
|
1″ / 8″ /12″
|
Плоскостность поверхности
|
± 20,0 мкм
|
Специальный вариант
|
Опция сверхвысокого напряжения/тока
|
Электрические характеристики
|
Стандарт: 3 кВ, 10 A постоянный ток / 200 A-импульсный
Опция: 10 кВ, 20 A постоянный ток / 500 A импульсный
|
Дополнительный столик
|
Дополнительные места
|
2 места: впереди справа и сзади справа
|
Размер подложки (Ш х Д)
|
3 подложки 15×16 мм для каждого места
|
Материал
|
Углеродистая сталь или керамика
|
Плоскостность поверхности
|
± 5,0 мкм
|