Исследование электрохимических сенсоров на подложке

В данной работе представлен метод исследования электрохимических сенсоров на уровне под-ложки. Как правило, такие сенсоры перед прове-дением их электрохимического тестирования подвергают резке на кристаллы, а затем корпуси-руют. В настоящее время для снижения затрат те-стирование происходит непосредственно перед резкой на кристаллы без необходимости корпу-сировки, которая может быть дороже, чем изго-товление самого сенсора. В статье описан способ характеризации с применением зондовой стан-ции для обеспечения электрического контакта к отдельным кристаллам простых электрохимиче-ских сенсоров на подложке, которые изготовлены с использованием гидрофобной плёнки фоторе-зиста, удерживающей электролит.