Параметрический анализатор 4200A-SCS

Параметрический анализатор 4200A-SCS — это модульный, конфигурируемый в соответствии с задачами заказчика параметрический анализатор, обеспечивающий измерение вольтамперных, фольтфарадных характеристик и ВАХ в импульсном режиме. Анализатор 4200A-SCS ускоряет проведение испытаний сложных устройств для исследования материалов, разработки полупроводниковых устройств, подготовки технологических процессов или производства.

Характеристики

Модуль источника-измерителя (SMU):

• диапазон напряжения/тока: ±210 В/100 мА или ±210 В/1 А;
  
• разрешение 100 фА, 0,1 фА с предусилителем;
  
• низкочастотные измерения емкости 10 мГц — 10 Гц;
  
• двух- или четырехпроводные измерения.
  

Модуль измерения ВФХ (CVU):

• несколько режимов измерения импеданса: C-V, C-f, C-t;
  
• частотный диапазон от 1 кГц до 10 МГц;
  
• диапазон изменения напряжения смещения ±30 В (возможность расширения до ±210 В с помощью SMU-модуля);
  
• возможность быстрого переключения между I-V и C-V измерениями с помощью CVIV модуля.
  

Модуль сверхбыстрого измерения ВАХ в импульсном режиме (PMU):

• два независимых или синхронизированных канала источника/измерителя;
  
• частота дискретизации 200 Мвыб/с (5 нс);
  
• ±40 В (80 В пик), ±800 мА;
  
• возможность проведения измерений переходных ВАХ;
  
• режим генерации произвольных многоуровневых импульсов (Segment ARB^®) с 10 нс разрешением.
  

Модуль генератора высоковольтных импульсов (PGU):

• два высокоскоростных канала импульсного напряжения
  
• ±40 В (80 В пик), ±800 мА;
  
• режим генерации произвольных многоуровневых импульсов (Segment ARB^®) с 10 нс разрешением.
  

Коммутационный блок ВАХ/ВФХ (CVIV):

• быстрое переключение между I-V и C-V измерениями без необходимости переподключения кабелей и нового контактирования с исследуемым устройством.
  

Модуль внешнего предусилителя (RPM):

• быстрое переключение между I-V, C-V и импульсными I-V измерениями;
  
• расширение чувствительности PMU-модуля до десятков пА;
  
• уменьшение паразитной емкости кабелей.
  

Комплектация

• Параметрический анализатор 4200A-SCS.
  
• CD с программным обеспечением Clarius.
  
• Руководство пользователя.