Полуавтоматическая зондовая станция серии SF-C обеспечивает точные измерения электрических характеристик бескорпускного изделия, высокоскоростную разбраковку и маркировку кристаллов на пластине.
Диапазон направления столика по X-Y
Точность
Разрешение
Тип привода
300×500 мм
2 мкм
1 мкм
Серводвигатель
Диапазон направления столика по Z
15 мм
Диапазон перемещения столика по Θ
±7°
Сжатый воздух
5 кг/см² 100 л/мин
Питание
220 В
Размеры Д х Ш х В
950×1600×2100 мм
Вес
400 кг