Четырехзондовая система для измерения удельного поверхностного сопротивления ИУС-7Р внесена в Госреестр СИ ФГИС Аршин
Завершены работы по внесению в Реестр средств измерений системы измерения удельного, поверхностного сопротивления пластин ИУС-7Р.
Тип средств измерений утвержден Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии № 9 от 11 января 2024 г. Номер в Реестре утвержденных типов средств измерений – 90948-24.
За 2023 год была осуществлена поставка первых четырех систем отечественным предприятиям электронной промышленности, а заказы 2024 года уже превысили эти показатели. В ближайшее время поставка систем ИУС-7Р будет доступна со склада в кратчайшие сроки.
Назначение средства измерений
Системы измерения параметров пластин ИУС-7Р предназначены для измерения удельного поверхностного электрического сопротивления (УПЭС) пластин полупроводниковых и диэлектрических материалов четырехзондовым методом с линейным расположением зондов.
Конструктивно система состоит из измерителя поверхностного сопротивления Семизонд 4К, микроомметра Е6-42, персонального компьютера (ноутбука) и программного обеспечения «Кристалл». Работа с системой также возможна без использования персонального ПК.
Удельное и поверхностное сопротивление вычисляется автоматически с помощью программного обеспечения «Кристалл» на основе измеренных значений электрического сопротивления микроомметром Е6-42 с учетом межзондового расстояния четырехзондовой головки. Учитываются размеры измеряемого образца путем задания режима измерений (карта сопротивлений или непрерывный режим).
Разработанный и серийно производимый комплекс ИУС-7Р стал достойной заменой устаревшего оборудования ИУС-3, некоторых позиций отечественных производителей и другой продукции марок Jandel (Jandel UK), ResMap 178 (CDE), QuadProII, Pro4 (Signatone).
Технические характеристики
|
Техническая характеристика |
Значение |
|
Диапазон измерений удельного поверхностного электрического сопротивления (УПЭС) на квадрат поверхности, Ом |
от 4ˑ10-3 до 9ˑ108 |
|
Диапазон задаваемого тока |
10 нА – 10 А |
|
Диапазон измерений электрического сопротивления микроомметром Е6-42 |
200 мкОм до 200 МОм |
|
Питающая сеть |
230 ± 23 В, 50 ± 0,5 Гц |
|
Комплект сменных измерительных головок* |
|
|
Головка TC-01-10-62,5 |
|
|
Материал зондов |
W |
|
Тип иглы |
конус 30° |
|
Расстояние между зондами |
1,59 мм |
|
Усилие прижатия на каждый зонд |
<100 г |
|
Радиус закругления зондов |
100 мкм |
|
Габаритные размеры |
Не более 20 × 20 × 20 мм |
|
Головка BeCu-05-07-62,5 |
|
|
Материал зондов |
BeCu |
|
Тип иглы |
сфера |
|
Расстояние между зондами |
1,59 мм |
|
Усилие прижатия на каждый зонд |
<100 г |
|
Радиус закругления зондов |
250 мкм |
|
Габаритные размеры |
Не более 20 × 20 × 20 мм |
*Возможна поставка головок с расстоянием и диаметром по требованию заказчика
Получить консультацию и оформить запрос можно у специалистов ООО «Остек-Электро» по телефону: +7 (495) 788-44-44 или по электронной почте: ostecelectro@ostec-group.ru