Полуавтоматическая зондовая станция серии SF-C обеспечивает точные измерения электрических характеристик бескорпускного изделия, высокоскоростную разбраковку и маркировку кристаллов на пластине.
Многофункциональная модульная ручная зондовая станция с возможностью проведения DC-, СВЧ-, термоизмерений (-65 до +300˚C) и разбраковки кристаллов. Максимальный диаметр пластин 300 мм, количество микропозиционеров до 12 шт.
Многофункциональная модульная ручная зондовая станция с возможностью проведения DC-, СВЧ-, термоизмерений (-65 до +300˚C) и разбраковки кристаллов. Максимальный диаметр пластин 300 мм, количество микропозиционеров до 12 шт.
Ручная зондовая станция с возможностью проведения DC-, СВЧ-, термоизмерений (-65 до +300˚C) и разбраковки кристаллов. Максимальный диаметр пластин 150 мм, количество микропозиционеров до 6 шт.
Многофункциональная модульная ручная зондовая станция с возможностью проведения DC-, СВЧ-, термоизмерений (-65 до +300˚C) и разбраковки кристаллов. Максимальный диаметр пластин 150 мм, количество микропозиционеров до 6 шт.
Микроманипуляторы для проведения
Высокоточные микроманипуляторы для проведения DC- и СВЧ-измерений. Разрешение 0,8 мкм. Возможность крепления СВЧ-зонда и многоконтактных зондов. Для проведения DC- и СВЧ-измерений.
Прецизионные микроманипуляторы для проведения DC- и СВЧ-измерений. Разрешение 0,35 мкм. Возможность крепления СВЧ-зонда (NSWE-конфигурации) и многоконтактных зондов. Для проведения высокоточных DC- и СВЧ-измерений до 1,1 Т.
Проб-карта с широкой полосой пропускания с иглами кантилеверного типа предназначена для проведения высокоскоростных параметрических тестов: тестирование флэш-памяти, памяти с произвольным доступом, импульсных вольтамперных характеристик и др. Возможно проведение измерений при температуре окружающей среды до 200 °С. Малошумящее полностью экранированное основание позволяет получать S-параметры с высокой точностью и хорошее соотношение сигнал/шум.
Проб-карта предназначена для проведения измерений специализированных изделий (MEMs, CIS-устройства). Генерирует минимальное количество частиц, что позволяет проводить тестирование непосредственно в процессе производства. Специальные соединители обеспечивают низкие утечки и высокотемпературные измерения.
Проб-карта с архитектурой, полностью совместимой с тестерами Keysight 4070/4080. Позволяет проводить быстрые, точные и воспроизводимые измерения низких сопротивлений, низких токов и емкостей. Возможно проведение измерений при температурах до 300 °С. Основание из многослойной керамики обеспечивает полную экранировку и низкие утечки для тестирования низковольтных нанометровых устройств и медной разводки.
Многофункциональная модульная ручная зондовая станция с возможностью проведения DC-, СВЧ-измерений и разбраковки кристаллов, оптимизированная для точной интеграции с преобразователями частоты VDI, OML, Keysight и R&S. Имеет возможность северного и южного расположения дополнительных зондов. Оснащена встроенной шкалой для измерения следов контакта зондов.
Многофункциональная модульная ручная зондовая станция с возможностью проведения DC-, СВЧ-измерений и разбраковки кристаллов, оптимизированная для точной интеграции с преобразователями частоты Anritsu. Оснащена интегрированным радиатором для охлаждения зондов и преобразователей частоты. Совместима с
Виброизоляционный стол напольного или настольного исполнения для защиты от вибраций от 2 и от 5 Гц соответственно. Система автоматического выравнивания поверхности столика. Четыре воздушных подушки, расположенных по углам столика.
Экранированная камера для исключения внешнего электромагнитного и электростатического воздействия. Позволяет проводить высокоточные измерения, подавать инертные газы для исключения окисления и выпадения инея на высоких и низких температурах измерения соответственно. Возможность изготовление камер нестандартных размеров.
Столик для проведения термоизмерений в диапазоне от комнатной температуры до 1000 ˚С. Совместим со всеми станциями компании EverBeing. Низкий уровень шумов. Воздушное или водяное охлаждение.
Измерение удельного и поверхностного сопротивления четырехзондовым методом. Диаметр столика до 300 мм. Возможность установки термостолика до 500 ˚С.
Измерение концентрации, типа и подвижности носителей заряда образцов посредством измерения эффекта Холла. Диаметр столика 100 мм. Магнитная индукция магнитопроводов подбирается под конкретные требования пользователя. Возможность установки термостолика.
Зондовые станции предназначены для выполнения высокоточных измерений импульсных, постоянных, высокочастотных воспроизводимых сигналов и сигналов. Probe Stations используются при моделировании и выполнении измерений характеристик устройства, для получения готовых характеристик и оценки надежности полупроводниковых кристаллов на подложке, для выявления дефектов цифровых информационных систем, для измерения сигналов и тренировки полупроводниковых схем, для испытаний на термическую стойкость, надежность, для проверки устойчивости работы в кратковременных и продолжительных режимах.