Зондовые станции (Probe Stations)

Полуавтоматическая зондовая станция серии SF-C обеспечивает точные измерения электрических характеристик бескорпускного изделия, высокоскоростную разбраковку и маркировку кристаллов на пластине.

Многофункциональная модульная ручная зондовая станция с возможностью проведения DC-, СВЧ-, термоизмерений (-65 до +300˚C) и разбраковки кристаллов. Максимальный диаметр пластин 300 мм, количество микропозиционеров до 12 шт.

Многофункциональная модульная ручная зондовая станция с возможностью проведения DC-, СВЧ-, термоизмерений (-65 до +300˚C) и разбраковки кристаллов. Максимальный диаметр пластин 300 мм, количество микропозиционеров до 12 шт.

Ручная зондовая станция с возможностью проведения DC-, СВЧ-, термоизмерений (-65 до +300˚C) и разбраковки кристаллов. Максимальный диаметр пластин 150 мм, количество микропозиционеров до 6 шт.

Многофункциональная модульная ручная зондовая станция с возможностью проведения DC-, СВЧ-, термоизмерений (-65 до +300˚C) и разбраковки кристаллов. Максимальный диаметр пластин 150 мм, количество микропозиционеров до 6 шт.

Микроманипуляторы для проведения DC-измерений. Разрешение 1,7 мкм. Компактные размеры и малый вес. Бюджетный вариант для DC-измерений.

Высокоточные микроманипуляторы для проведения DC- и СВЧ-измерений. Разрешение 0,8 мкм. Возможность крепления СВЧ-зонда и многоконтактных зондов. Для проведения DC- и СВЧ-измерений.

Прецизионные микроманипуляторы для проведения DC- и СВЧ-измерений. Разрешение 0,35 мкм. Возможность крепления СВЧ-зонда (NSWE-конфигурации) и многоконтактных зондов. Для проведения высокоточных DC- и СВЧ-измерений до 1,1 Т.

Проб-карта с широкой полосой пропускания с иглами кантилеверного типа предназначена для проведения высокоскоростных параметрических тестов: тестирование флэш-памяти, памяти с произвольным доступом, импульсных вольтамперных характеристик и др. Возможно проведение измерений при температуре окружающей среды до 200 °С. Малошумящее полностью экранированное основание позволяет получать S-параметры с высокой точностью и хорошее соотношение сигнал/шум.

Проб-карта предназначена для проведения измерений специализированных изделий (MEMs, CIS-устройства). Генерирует минимальное количество частиц, что позволяет проводить тестирование непосредственно в процессе производства. Специальные соединители обеспечивают низкие утечки и высокотемпературные измерения.

Проб-карта с архитектурой, полностью совместимой с тестерами Keysight 4070/4080. Позволяет проводить быстрые, точные и воспроизводимые измерения низких сопротивлений, низких токов и емкостей. Возможно проведение измерений при температурах до 300 °С. Основание из многослойной керамики обеспечивает полную экранировку и низкие утечки для тестирования низковольтных нанометровых устройств и медной разводки.

Многофункциональная модульная ручная зондовая станция с возможностью проведения DC-, СВЧ-измерений и разбраковки кристаллов, оптимизированная для точной интеграции с преобразователями частоты VDI, OML, Keysight и R&S. Имеет возможность северного и южного расположения дополнительных зондов. Оснащена встроенной шкалой для измерения следов контакта зондов.

Многофункциональная модульная ручная зондовая станция с возможностью проведения DC-, СВЧ-измерений и разбраковки кристаллов, оптимизированная для точной интеграции с преобразователями частоты Anritsu. Оснащена интегрированным радиатором для охлаждения зондов и преобразователей частоты. Совместима с 4,5-дюймовым держателем проб-карт.

Виброизоляционный стол напольного или настольного исполнения для защиты от вибраций от 2 и от 5 Гц соответственно. Система автоматического выравнивания поверхности столика. Четыре воздушных подушки, расположенных по углам столика.

Экранированная камера для исключения внешнего электромагнитного и электростатического воздействия. Позволяет проводить высокоточные измерения, подавать инертные газы для исключения окисления и выпадения инея на высоких и низких температурах измерения соответственно. Возможность изготовление камер нестандартных размеров.

Столик для проведения термоизмерений в диапазоне от комнатной температуры до 1000 ˚С. Совместим со всеми станциями компании EverBeing. Низкий уровень шумов. Воздушное или водяное охлаждение.

Измерение удельного и поверхностного сопротивления четырехзондовым методом. Диаметр столика до 300 мм. Возможность установки термостолика до 500 ˚С.

Измерение концентрации, типа и подвижности носителей заряда образцов посредством измерения эффекта Холла. Диаметр столика 100 мм. Магнитная индукция магнитопроводов подбирается под конкретные требования пользователя. Возможность установки термостолика.

Криогенная зондовая станция для проведения термоизмерений в диапазоне от −196 до +1000 ˚С при 0,1 Па для проведения анализа отказов и тестирования на надежность. Диаметр столика 40 мм.